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    在研究所一直呆到了傍晚，晚上周宏邀请了李秀成和胡英梅去家里吃饭。

    两个儿子都在外地上班，家里就老两口。

    老太太很好客，尤其是知道李秀成是周宏的老板更是热情无比，拿出看家的本事整了满满当当的一桌子菜。

    到餐末时，李秀成说道：“明天我就不去研究所了，我和胡会计到北京玩两天然后就直接飞兴蓉。

    研究所这边还得要周教授您多费心，把好关。”

    周宏一拍胸口，严肃道：“放心吧李总，只要我这把老骨头还立得起来，就不会让研究停下来。”

    “嗯。我相信周教授！”李秀成微笑着点头，他对老前辈的道德品格是相当信任的，不过也是时候谈一谈光刻机的发展线路问题了。

    现在研究的是老旧的干式微影光刻机，但未来是浸入式光刻机的天下，要怎么才能让老前辈接受这个观点呢？

    这就要好好琢磨琢磨下了。

    吃完饭，胡英梅帮着老太太去收拾碗筷。两人坐回到沙发上喝茶解腻。

    李秀成斟酌着说道：“我有一个问题想要请教周教授。”

    “光刻机的？有什么问题你尽管问。”周宏就是欣赏李秀成这一点，有什么不懂的也不憋着。同样，知道自己不懂，也不乱指挥人。

    这样大方明理又能放权的老板，可比以前那些外行指挥内行的领导要强太多了。

    “我知道光刻机的涂胶原理其实跟相机胶片暴光差不多，最近我也一直在恶补这方面的知识。

    我知道像光刻机的生产效率、良率以及最小分辨率均在不断发展。

    而光刻机的最小分辨率由一个公式r=kλ/na控制。

    其中r代表可分辨的最小尺寸也就是我们追求的精度，那么肯定就是r越小越好，k是工艺常数代表我们的工艺技术,λ.....λ...。

    λ是什么来着？”

    说到这里，李秀成像是卡了壳，挠着腮帮子说道。

    周宏一脸好为人师的表情笑道：“λ是光刻机所用光源的波长，我们现在研究的就是g线光刻机，波长346nm。

    na代表物镜数值孔径这个东西也就是关键的暴光系统。

    这也是最难的东西，我们现在造的都是落后别人十年的参数产品。

    反正，光刻机制程工艺水平的发展是一直遵循你说这个公式的。
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