第406章 先调查一下-《1991从芯开始》
第(2/3)页
“然后就一直失败,不是这里不对劲,就是那里不对劲。我就有点奇怪……花了两个月时间去检查图纸。”
“最后我们认为,应该是在步进电机的协调传动系统方面有设计缺陷——准确的说就是这套传统系统的构造上是有问题的,然后我就提出了修改意见。”
“一开始那边倒是挺重视,后面又说再试试——我试他大爷!”曲慧愤愤不已:“这种失败除了浪费经费之外,毫无意义。而且那边见双工件台迟迟搞不起来,索性就去做激光退火设备了。”
苏远山看了一眼郑振川后笑着点了点头:“还好,激光退火也是晶圆厂的必须设备,我还以为他们跑去做电子秤了呢。”
曲慧:“……正经点。”
苏远山开了一个小幽默,垂下眼帘,沉吟了几秒道:“既然这样,那我们就先问问清楚,调查一下,你说是不是郑叔?”
郑振川虽然和精密仪器研究所那边是熟人,但面对这种事,又在苏远山面前,只好笑着点头道:“是,主要还是看看到底问题出在了哪里。不过就我个人而言,还是对双工件台的思路很看好的。”
“没错,双工件台技术必定能提大幅提高光刻机效率的。当初我就在想,这玩意将来要是搞出来,再加上最先进的制程……那真的就能拳打尼康,脚踢佳能了。要知道,光刻机这种印钞机,是真正的赢家通吃啊……”
苏远山先安慰了一下曲慧,紧接着便又等到了有点倒时差意味的赵凯东教授——赵凯东的团队为了配合大洋彼岸的林本坚团队,他们在远芯科技园过起了加利福利亚时间。得益于远芯的宽带在全国的企业和单位里都是出了名的快,他们的线上交流倒是很方便。
这边赵凯东因为是放弃了原本的KBBF晶体,直接转向稀有气体——krf方向,因此一开始还是以林本坚为主导的。但随着研发进度的加快,再加上赵凯东等人“雪耻”的心情,以及……出身自长光所这种“名门大所”与生具来的对技术的敏感,赵凯东的团队渐渐追上了进度,现在双方已经谈不上谁主导谁,只是双方负责不同的领域,朝着同一个目标前进罢了。
……
当苏远山走出光学实验室时,外面的天已经阴了下来,颇有下暴雨的意思。于是苏远山也就不骑车了,和曲慧边聊边往自己办公室里那边走。
“你怎么解决?”曲慧双手插兜,慢摇摇地和苏远山并肩走着。
“曲慧姐,首先……只要精密仪器厂那边在搞双工件台的技术,那么原则上远芯是没有办法过多干涉的。”苏远山走出郑振川的办公室后才正色道:“这不是官僚也不是给面子的问题,而是远芯不能用咄咄逼人的态度,就跟个霸王一样地去质问人家。”
第(2/3)页