第(2/3)页 陈耀率领团队研发出的光源,波长短,体积小,功率大并且稳定,完全可以用作5纳米芯片的制造。 技术不断的突破,带来了是一波又一波的快感! 随后的一个月,传感器技术取得关键性突破。 光刻机的内部对于温度湿度的环境要求非常高,机器内部的温度变化要控制在千分之五度。 超出误差就会影响光刻机的对焦精准度,哪怕出现一丝一毫的误差,做出来的芯片就是失败的。 这样的高精度,简直极尽变态。 一台光刻机里边会内置两百多个高精度传感器,用来监测机器内部的温湿度还有空气压力等等的数据。 为了让机器内部的温度变化控制在千分之五度,要做一套非常先进的冷却散热系统。 这要求还不是最变态的,最变态的是什么? 光刻机里有两个同步运动的工件台,一个载底片,一个载胶片。 两者必须始终同步,误差在2纳米以下。 两个工作台由静到动,加速度就像是导弹发射。 这么说可能没什么概念,形象点说。 它的难度就相当于两架大飞机从起飞到降落,始终齐头并进。一架飞机上伸出一把刀,在另一架飞机的米粒上刻字,要做到丝毫不差。 知道为什么光刻机被誉为世界上精度最高,最难做的仪器了吧?! 变态,苛刻,不可理喻! 今天我们人类可以用上智能手机,背后包含了多少人类的智慧和尖端科技? 最后一关是最难的,它需要极致的机械精度,在国内根本找不到这样的设备生产。 陈耀带领团队费尽了周折,失败了多次,有队员甚至感到沮丧,差点退出。 情况比预想中的还要艰难,这种机器不像是人类应该造出来的。 那段时间,是陈耀最繁忙的日子,像个陀螺一样在实验室、工厂,学院转来转去。 一边要培养人才,一边要参与到项目的研发,设计,测试,甚至亲自上阵在生产一线当工人。 好在,最艰难时期终于过去! 陈耀和微观精龙团队成功突破最后一道难关! 第(2/3)页