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    刻蚀腔体：刻蚀腔体是ED刻蚀设备的核心结构，它对刻蚀速率、刻蚀的垂直度以及粗糙度都有直接的影响，刻蚀腔的主要组成有：上电极、ED射频单元、RT  射频单元、下电极系统、控温系统等组成。

    供气系统：供气系统是向刻蚀腔体输送各种刻蚀气体，通过压力控制器（PC）和质量流量控制器（MFC）精准的控制气体的流速和流量。

    真空系统：真空系统有两套，分别用于预真空室和刻蚀腔体。

    刻蚀腔体就是现在桌子上卡动不弹不了的那组合件。

    现在刻蚀腔体就把刘林给卡住了，后面还有曝光镜头，CCD相机等十几个同等难度的组合件呢。

    RDD离子激光仪工艺技术精度是0.1μm！

    刘林看到精度的时候，太阳穴不由的又跳了跳，要知道超级加工中心精度才0.001MM，都是同一个级别了好吧。

    卧槽......

    刘森差点爆了个粗口，太坑爹了吧，不出问题才就怪事了，以现在的工艺基本就加工不出来好吧。

    超级加工中心还是自己用作弊手段才弄出来的好吧，现在想直接加工到0.1μm，想多了吧，晚上睡觉多放个枕头。

    梦中什么都有了，刘林看到这，基本可以肯定不是自己技术不行，而是自己所用的设备，根本没办法把RDD离子激光仪制造出来。

    因为不是一个层次的东西。

    全世界有一家算有家，如果谁能制造出来，刘林直接叫他爹都行。

    刘林瞄了眼好像还有最后一页，本来就不想看的，那就瞅两眼吧，至少知道后面还有什么困难等着自己！

    三分钟后，刘林放下手中的资料。

    “老板有什么发现没有？”

    “是我把问题想简单了！”刘林沉思了几秒，最后无奈的开口道：“HCC屏幕比我想象中心困难得多，不管是材料问题，还是加工工艺！”

    “现在我们就是在基础加工工艺上就给卡住了，我那微电子加工工艺也是因为材料问题，备卡得动弹不得，现在HCC屏幕一系统技术，现在没有任何配套，所有技术基础设备都是由我们自己研发！”

    “我们是一个公司，想把整个系统技术啃下来，那是非常困难的事，你们现在也看到了，单单一个组合件，就把我们难住了！”

    “现在才刚开始，就有这样的难题，后面谁知道还有多少类似的技术难题。”刘林用手使劲的揉了揉脸，让自己清醒点道！

    “老板那我们现在怎么办？”吴灿把手中的配件放下，思考了下道：“我想问题不是出在我们材料上，而是出我们的设备上，RDD离子激光仪的详细资料我仔细看不下五次。”

    “虽然上面的精度，按道理来说，我们超级加工中心是可以达到，但是加工中间肯定不可能达到理想的精度，更别说几十外配件组在一起了！”

    “所以我认为就是设备把我们卡住了，这些配件应该是有致命缺陷的，但我们的测量仪器根本就测量不出来，所以我们觉得是合格的，这是唯一的解释了！”

    “你没说错，应该是这个问题了，所以......”

    “这就说明我们的设备还达不到要求，或者我们缺了什么发现问题的设备。”刘林深深的吸了一口气，站了起看了几人一眼，又接着道：“HCC屏幕的研发，就先暂停！”

    “现在你们优先把超算中心，跟冶炼实验室建起来再说，设备我再想想办法，后面再慢慢一个个问题解决，之前是我心急了！”

    “这是整个加工层次问题了。”刘林最后无奈的承认自己的失败。

    “老板！”吴灿听到刘林的话，开口问道：“也午我们可以换个角度看待这问题。”

    “......”刘林把目光，看向吴灿。

    就在刘林等人为了组合件掉光发的时候！

    周颖已经从总公司带着专家团，向上海浦东组装中心飞去！
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